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新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產業化

關鍵字：電容式多功能傳感器芯片

所屬行業：電子信息

發布時間：2015-12-09

價格：

所在地區：江蘇蘇州

合作信息期限：2017年6月

合作信息類型：意向合作

機構類型：科研院所

供求關系：供應

合作信息簡介：本項目創新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補國際上在微納尺度應用于多功能傳感檢測的空白。本產品系利用微機電系統(MEMS)設計和加工技術的特殊優勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術，通過可變電容和機..

發布機構：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

共1頁總數：2條

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