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新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產業化
關鍵字：
電容式
多功能傳感器芯片
所屬行業：
電子信息
發布時間：
2015-12-09
價格：
所在地區：
江蘇 蘇州
合作信息期限：
2017年6月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
本項目創新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補國際上在微納尺度應用于多功能傳感檢測的空白。本產品系利用微機電系統(MEMS)設計和加工技術的特殊優勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術，通過可變電容和機..
發布機構：
中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
共
1
頁 總數：
2
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