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知識
高性能氮化鎵基電子材料
關鍵字:
微電子
氮化鎵
所屬行業(yè):
機械、電子信息、先進裝備制造
發(fā)布時間:
2015-06-02
價格:
所在地區(qū):
北京 海淀區(qū)
合作信息期限:
2016年12月
合作信息類型:
意向合作
機構類型:
企業(yè)
供求關系:
供應
合作信息簡介:
【技術領域】微電子與電子信息 【技術開發(fā)單位】中國科學院半導體研究所 【技術簡介】采用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)方法,在藍寶石或碳化硅襯底上外延高性能氮化鎵(GaN)基電子材料。 【技術特點】采用本技術制備GaN基電子材料,生長速度快,產(chǎn)量高,質量、重復性和均勻性..
發(fā)布機構:
中國科學院半導體研究所
共
1
頁 總數(shù):
2
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