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知識
大尺寸硅外延生產技術
關鍵字：
大尺寸
硅外延
生產技術
所屬行業：
新材料
發布時間：
2015-03-02
價格：
所在地區：
江蘇 南京
合作信息期限：
2016年2月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
企業
供求關系：
供應
合作信息簡介：
【技術簡介】通過對外延設備在硅片上再生長一層外延層的控制、不同的參雜等，可滿足不同客戶的產品需求。外延工藝是以 SiHCl3為源，通過中頻加熱方式進行氣相淀積，電阻率、厚度、均勻性和重復性均能得到較好的控制。 【技術特點】已完全掌握6～8英寸硅外延工藝和技術，產品及工藝技術水平國內..
發布機構：
中國電子科技集團公司第五十五研究所
共
1
頁 總數：
2
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