合作信息
耐深紫外激光輻照特種玻璃
發布單位：廈門大學
所屬行業：新材料
合作信息類型：意向合作
機構類型：高等院校
供求關系：供應
合作信息期限：2016-4
參考價格：面議
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合作信息簡介
成果名稱：耐深紫外激光輻照特種玻璃
成果擁有單位：廈門大學
成果簡介：
耐ArF、F2深紫外激光輻照特種石英玻璃。ArF準分子激光193nm的透過率大于90%。F2準分子激光157nm的透過率大于80%。ArF、F2深紫外激光輻照時，玻璃不產生結構缺陷，不發出紅色熒光。掌握了控制性能的關鍵技術。除了純度以外，OH、H2含量范圍、均勻性的控制及其關鍵技術。應用于深紫外光刻、光制導等。根據要求形狀以及尺寸，投產條件不同。
合作方式：各種研發合作方式，歡迎洽談。
聯系方式：
聯 系 人：周忠華
電話：13656008137
E-mail：zzh@xmu.edu.cn
成果擁有單位：廈門大學
成果簡介：
耐ArF、F2深紫外激光輻照特種石英玻璃。ArF準分子激光193nm的透過率大于90%。F2準分子激光157nm的透過率大于80%。ArF、F2深紫外激光輻照時，玻璃不產生結構缺陷，不發出紅色熒光。掌握了控制性能的關鍵技術。除了純度以外，OH、H2含量范圍、均勻性的控制及其關鍵技術。應用于深紫外光刻、光制導等。根據要求形狀以及尺寸，投產條件不同。
合作方式：各種研發合作方式，歡迎洽談。
聯系方式：
聯 系 人：周忠華
電話：13656008137
E-mail：zzh@xmu.edu.cn
