成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規(guī)

　　成果擁有單位：廈門大學(xué)

　　成果簡介：

　　以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的硅微機(jī)械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)和單片集成等優(yōu)點(diǎn)，滿足國際上真空計的發(fā)展要求。該真空規(guī)為一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器，它主要采用p++硅自停止腐蝕技術(shù)和硅-玻璃鍵合技術(shù)制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治結(jié)構(gòu)。傳感器的傳感元是經(jīng)過濃硼擴(kuò)散的硼硅膜，方形硼硅膜的應(yīng)用使得傳感器有更高的靈敏度，等離子刻蝕硼硅膜引出金屬電極的方法使得傳感器制作更簡單。該真空微傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，其尺寸為5mm×6.4mm。微型電容式真空規(guī)的產(chǎn)業(yè)化，可以提高國內(nèi)真空測量微型化的水平。由于微型電容真空規(guī)的研制需要探索極限尺寸下(超薄膜和極小的極板間隙)的MEMS工藝技術(shù)，因而由此開發(fā)的工藝技術(shù)可以很容易用來開發(fā)各種用途的微型電容式傳感器。處于深入研究階段。真空傳感器是一種重要的傳感器，用于真空度的測量，可以廣泛地應(yīng)用于食品、化工、醫(yī)療、建筑、汽車、電子和光學(xué)等領(lǐng)域。投產(chǎn)條件和預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益：微型電容真空規(guī)項(xiàng)目的研究成果，具有產(chǎn)業(yè)化的潛力。由于微型電容真空規(guī)與其它微型電容傳感器的制作的加工方法和設(shè)備是一樣的，因而在產(chǎn)業(yè)化中很容易形成規(guī)模生產(chǎn)。微型電容傳感器的即可開發(fā)用于真空設(shè)備、航空航天裝置等高精度測試所需的器件，也可用在醫(yī)療、玩具這樣一些普通精度測量中，其市場潛力是巨大的。

　　合作方式：合作開發(fā)。

　　聯(lián)系方式：

　　聯(lián) 系 人：馮勇建

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