成果名稱：大量程納米級光柵位移傳感器

　　成果簡介

　　在國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目支持下，學(xué)校研制出利用單根低線數(shù)計(jì)量光柵實(shí)現(xiàn)大量程、納米級分辨率、高性價(jià)比的位移測量的大量程納米級光柵位移傳感器。其主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)有：

　　1.首次從原理上提出了利用單根低線數(shù)計(jì)量光柵實(shí)現(xiàn)大量程、納米分辨率的位移測量方法，并提出了一種對相位差不敏感的交點(diǎn)跟蹤式莫爾(干涉)條紋信號計(jì)數(shù)細(xì)分方法;

　　2.設(shè)計(jì)了一種基于保偏光纖耦合器的鏡柵隨動(dòng)式光柵干涉儀光路，突破了傳統(tǒng)光柵干涉儀量程的限制，從技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了大量程、高精度的位移測量;

　　3.提出了一種高分辨率數(shù)字化微光學(xué)灰度掩模制作方法，研制了相應(yīng)的制作裝置，可實(shí)現(xiàn)大量程納米級光柵位移傳感器的產(chǎn)品系列化。

　　現(xiàn)已獲授權(quán)3項(xiàng)發(fā)明專利，2009年度獲湖南省技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。經(jīng)國家二級計(jì)量站比對測試，其測量范圍達(dá)2m，分辨率為1nm，測量精度優(yōu)于±0.15μm。該成果填補(bǔ)了國內(nèi)超精密加工中低價(jià)位納米級位移測量儀器的空白，總體性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，可廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工精密位移測量、位移量同步比較測量等領(lǐng)域。

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