根據高壓靜電沉積原理，利用高壓恒流直流電源產生高壓靜電場發生電離，產生自由電子和正離子，靠近負電極高壓的電子被強電場有力地加速，帶電離子而形成電子雪崩，電子與磷酸尾氣的磷酸分子形成負離子后被迅速吸附到陽極管靜電沉淀，形成中性分子磷酸液滴。沿著陽極管向下流至稀磷酸槽，定期從電除霧裝置頂部加入熱水沖洗陽極管，得到尾氣回收磷酸，凈化的氣體從頂部出氣口排出，從而達到凈化處理磷酸尾氣并回收磷酸的目的。