合作信息
基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
發(fā)布單位：南開(kāi)大學(xué)
所屬行業(yè)：電子信息
合作信息類(lèi)型：意向合作
機(jī)構(gòu)類(lèi)型：高等院校
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2016-12
參考價(jià)格：面議
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合作信息簡(jiǎn)介
“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實(shí)三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開(kāi)發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。
“虛擬運(yùn)行”軟件對(duì)器件的運(yùn)動(dòng)情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計(jì)方案比較來(lái)指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動(dòng)時(shí)的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
“虛擬運(yùn)行”軟件對(duì)器件的運(yùn)動(dòng)情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計(jì)方案比較來(lái)指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動(dòng)時(shí)的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
