項目的背景及目的
本軟件是MEMS器件的設計人員的輔助工具，通過該軟件設計人員可以在實際生產之前提前預覽到所設計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設計或者對原來設計進行修改。這樣可以大大的降低設計的成本和時間，為MEMS設計人員提供較為感性的認識。
技術原理與工藝流程
基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統需要結合體積圖形學和專家系統以及物理模型，最終實現MEMS典型工藝的真實模擬。該系統主要分成兩大模塊：基于專家系統的完整工序模擬和基于物理模型的單步工藝模擬。
主要解決了三個關鍵問題：多步工序的自動模擬，體數據的計算以及體數據的可視化。多步工序的自動模擬可以利用虛擬工藝中的專家系統實現。體數據的計算，即如何生成表示MEMS工藝模擬結果的體數據場，在本系統中是通過數學形態學中膨脹/腐蝕操作實現的。可視化的方式為體繪制。體繪制技術的應用使用戶能夠觀察數據場內部，從而更好地理解和掌握器件的內部結構。
主要技術性能指標
采用體積圖形學技術。該技術的應用使MEMS工藝仿真的結果更加真實，模擬算法的通用性更強。
1) 采用體繪制技術實現可視化，極大拓展了可以表現的信息。
2) 采用數學形態學技術實現工藝模擬中的表面演進。
3) 同時支持基于專家系統和物理模型兩類工藝仿真。
4) 支持絕大多數MEMS工藝仿真，包括：各向同性/異性淀積，各向同性/異性刻蝕，濕法刻蝕，鍵合，光刻以及CMOS工藝中的氧化/注入等。
技術水平及用途
本項目是由南開大學機器人與信息自動化研究所獨立開發的，得到國家“863”計劃項目和國家自然科學基金項目的支持。經同行專家鑒定，該系統處于世界領先水平。適用于MEMS設計行業，其主要用途是輔助MEMS設計人員進行MEMS器件工藝級設計。
應用行業：微機電系統設計