項目聯系人: 唐海韻 電話:028-83207286 郵箱:1469601313@qq.com
項目簡介：
    該項目在320×240非制冷紅外探測器器件總體設計、關鍵材料技術、微橋結構與制造工藝、讀出電路等方面取得了創新成果：
    1．首次建立了320×240非制冷紅外探測器機理模型，并研發了仿真設計平臺。
    2．提出了在線質譜反饋控制及多層噴淋布氣濺射工藝方法，并研制成功了氧化釩專用反應磁控濺射設備，實現了6英寸高均勻性高溫度系數氧化釩薄膜工藝。
    3，發明了含硅氨鏈結構的低膨脹系數聚酰亞胺犧牲層材料，顯著降低了微腔結構的形變。
    4．提出采用混頻薄膜生長技術和應力緩沖層技術降低橋面應力的方法，大幅度改善了橋面的平整度。
    5．基于源極負反饋與斬波穩定相結合的方法設計了低噪聲運算放大器，并采用單電容相關雙采樣技術，有效降低了器件的NETD和提高了器件的占空比。
    該項目與當前潮內外同類器件的綜合性能比較結果表明，主要技術指標達到國際先進水平(部分屬國際領先水平)，打破了國外的技術封鎖和壟斷，該成果在安防監測系統中得到應用，效果好，具有廣闊的市場前景，推動了該領域的技術發展。