該成果是制備太陽能光伏電池減反射膜的專用裝備，適用于晶硅光伏電池生產線。項目解決了大功率等離子體技術、硅片注氫技術、強冷卻技術、大型平板加熱均勻性控制技術、載板自動傳輸系統等關鍵技術問題，采用模塊化設計，整個生產工藝過程全自動操作，具有產能高、成膜效率高、性能穩定、操作簡單等特點，同時具備完善的報警功能和安全互鎖功能。該產品可實現穩定、連續地鍍制減反射膜，整體性能達到國外同類產品水平。

　　合作方式本項目可采取代理銷售等方式合作

　　聯系單位中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

　　聯系人周景玉

　　聯系電話024—23826802