【技術(shù)簡(jiǎn)介】采用純度均為5個(gè)9的高純碳粉和高純硅粉先各自提純，然后再以質(zhì)量比為3:7的比例關(guān)系，使其均勻混合之后，裝進(jìn)合成坩堝內(nèi)，然后放入合成爐內(nèi)，進(jìn)行提純合成，合成采用固相反應(yīng)法進(jìn)行合成。
【主要技術(shù)指標(biāo)】粒度 ≤0.1mm；硼（B） ≤0.5ppm；磷（P） ≤0.5ppm；硫（S） ≤0.5ppm；鐵（Fe） ≤0.5ppm；鉻（Cr） ≤0.4ppm；鎳（Ni） ≤0.3ppm；鈷（Co） ≤0.3ppm；鋁（Al） ≤0.3ppm；鎂（Mg） ≤0.3ppm；鈉（Na） ≤0.3ppm；鈦（Ti） ≤0.3ppm；真空包裝。
【技術(shù)特點(diǎn)】采取高溫預(yù)燒的提純方式，即將所要提純的物質(zhì)在高溫爐中加熱，保溫并保持抽真空狀態(tài)，將其中吸附的氣體雜質(zhì)、水分及高溫下蒸發(fā)出來的雜質(zhì)以氣體形式隨抽真空排出，以此方式來除雜。另外，對(duì)于高純碳粉采用熱氯化的方式來除雜。經(jīng)過分別提純后的高純碳粉和高純硅粉置于提純處理過的坩堝中，放入合成爐中進(jìn)行合成，在合成高純碳化硅粉料的同時(shí)，通過控制合成的溫度和時(shí)間來達(dá)到控制粉料顆粒度的目的。
【適用范圍】高純SiC單晶片生長(zhǎng)用粉料
【專利狀態(tài)】授權(quán)專利1項(xiàng)
【技術(shù)狀態(tài)】批量生產(chǎn)階段
【合作方式】
（1）投資需求。尋求投資擴(kuò)大產(chǎn)能，電子級(jí)SiC高純粉料產(chǎn)能達(dá)到2000Kg/年，資金需求2000萬元，實(shí)施周期12個(gè)月；
（2）合作開發(fā)。與其他單位合作進(jìn)行技術(shù)開發(fā)、市場(chǎng)開拓等，并共享新產(chǎn)品有關(guān)權(quán)益。
（3）技術(shù)服務(wù)。利用技術(shù)為其他單位提供設(shè)計(jì)開發(fā)、難題診斷及技術(shù)攻關(guān)、設(shè)備及生產(chǎn)線研發(fā)、工程設(shè)計(jì)等服務(wù)。
【預(yù)期效益】掌握碳化硅粉料研制的關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)，形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，不但可滿足國(guó)內(nèi)碳化硅研制單位對(duì)碳化硅材料的要求，打破國(guó)外封鎖禁運(yùn)，而且推動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)在我國(guó)的發(fā)展，對(duì)發(fā)展獨(dú)立自主的高科技科學(xué)技術(shù)意義重大。將會(huì)產(chǎn)生極為顯著的社會(huì)效應(yīng)。
【聯(lián)系方式】崔志勇 010-56993368/18500064151