技術(shù)開(kāi)發(fā)單位：哈爾濱工業(yè)大學(xué)

　　技術(shù)簡(jiǎn)介：多元等離子體基離子注入混合及多層復(fù)合膜技術(shù)，是在新一代表面改性設(shè)備DLZ-01型等離子體表面改性裝置上開(kāi)發(fā)出來(lái)的最新表面改性技術(shù)，它綜合了目前流行的多種利用等離子體方法進(jìn)行表面改性的先進(jìn)技術(shù)，將磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍及全方位離子注入技術(shù)結(jié)合在一起，形成一種新型的等離子體基表面改性技術(shù)。該技術(shù)已獲得國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利。

　　該技術(shù)可以根據(jù)表面工程技術(shù)的具體要求，在不破壞真空的情況下，單獨(dú)或同時(shí)進(jìn)行離子鍍或離子混合注入，如磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍、全方位離子注入、等離子體化學(xué)熱處理、高壓脈沖輝光放電處理等。利用此裝置可獲得具有低溫（可以小于150℃）、尺寸精度高、結(jié)合力好的表面改性工藝，制取諸如單質(zhì)金屬膜如Ti、Cr、Ni、Pt等；化合物膜如TiN、TiC、CrN等；單一元素離子注入如N、C、B等，多種元素同時(shí)注入如Ti、N、C等；并可以制取類(lèi)金剛石碳膜(DLC)膜、多層膜或梯度膜等。獲得的表面改性層既具有普通離子鍍的優(yōu)點(diǎn)，也具有多束混合技術(shù)或離子注入等的優(yōu)點(diǎn)。

　　技術(shù)特點(diǎn)：該技術(shù)可以對(duì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)零件、精密零件、傳動(dòng)件、各種滾動(dòng)軸承、滑動(dòng)接觸件、工具、模具、量具等進(jìn)行批量處理，獲得滿足表面工程技術(shù)要求的耐磨、耐蝕、減摩或梯度要求的表面改性層。

　　技術(shù)指標(biāo)：真空室體積700×700×1000mm；極限真空度2.5×10 Pa；五個(gè)磁控濺射靶或配五個(gè)多弧離子鍍靶。高壓脈沖電源：電壓2～100kV可調(diào)；脈沖寬度10～100微秒可調(diào)；脈沖重復(fù)頻率41～140赫茲。

　　可應(yīng)用領(lǐng)域：適用于增強(qiáng)鋼鐵材料、鋁合金、鈦合金、高溫合金、無(wú)磁合金及其它非金屬材料的耐腐蝕性和耐磨性等。

　　聯(lián)系人及電話：鄒良玉  0451-86414460