成果簡介：

　　完整的金剛石單晶生長工藝流水線主要包括金剛石晶籽基底預處理、外延生長單晶金剛石、電化學剝離單晶金剛石膜、切割、拋光等過程，而其中最關鍵的是采用微波輔助CVD(MWCVD)法進行外延單晶生長。該系統具有以下顯著的特點：最優的微波和等離子體設計，

　　多天線配置使功率傳送更有效和穩定， 在極低和極高氣壓下安全起輝。

　　本項目團隊長期進行大面積單晶金剛石生長技術研究，積累了豐富的理論和實際經驗。同時開展了面向市場化的技術研究，如對先進的引進設備進行技術消化，開發出符合國內技術和市場環境的大尺寸金剛石生長設備，為國內高品質大尺寸金剛石市場提供技術和設備的支持。項目成熟度可認定為三至四級。

　　合作方式：面議

　　聯系方式：

　　聯系人：趙軼杰 電話：0451-86403033/13945696409