全方位離子注入技術(shù)克服了傳統(tǒng)束線離子注入直射性限制，能夠在復雜形狀零件表面獲得具有強膜基結(jié)合力和優(yōu)良表面性能的改性層，在零件表面強化處理領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。目前，該項技術(shù)已經(jīng)獲得了兩項國家發(fā)明專利，獲得了兩次國防科工委國防科技進步二等獎，能夠?qū)崿F(xiàn)軸承，齒輪，特種心軸等復雜形狀零件的批量處理。     主要技術(shù)指標     真空室體積：1m3；本底真空度：<1×10-4Pa。     金屬等離子體源最大沉積速率：〉1μm/h, 最大占空比：20%。     高壓電源最大注入電壓：50kV, 最大注入電流：50A, 最大占空比：5%；     最大氣體等離子體密度：6×109/cm3；均勻性：優(yōu)于90%。