類金剛石薄膜（diamond-like carbon, DLC）是一種亞穩態的非晶碳薄膜，具有一系列類似于金剛石的多種優異性能，如高硬度、低摩擦系數、高耐磨耐蝕性、高熱導率、在可見到紫外光范圍內透明、良好的絕緣性和化學穩定性、優異的生物兼容性及表面光滑等，可廣泛用于機械、電子、光學、醫學等領域。本項目制備的類金剛石薄膜具有質量穩定，與基體結合強，硬度、彈性模量、摩擦系數和透光性可調控，耐摩擦磨損和熱穩定性好等綜合優良性能。制備工藝方法具有成膜速率高，可實現低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜，與金剛石相比具有更高的性能價格比。     本項目制備的類金剛石膜可用在許多領域，尤其是在機械制造和先進加工器件方面。如汽車發動機凸輪、挺桿、陶瓷閥及其他耐磨損機械裝置部件；精密模具行業（注塑成型模具、沖壓模具、半導體封裝模具、吹塑成型模具等）；高精密機械（精密軸承、精密傳動機構等）；各種加工工具和切削刀具；醫療設備和器具；磁介質保護膜、各種裝飾鍍膜和日常用品（手機和手表外殼、揚聲器振膜、高爾夫球具、剃須刀片等）。 技術指標：     薄膜厚度：幾十納米到幾個微米；硬度：25GPa以上；摩擦系數：小于0.15，摩擦磨損過程中具有自潤滑作用；沉積溫度：小于200℃。