基于直線電機的運動平臺監控系統，可以支持直驅平臺實現二維、三維或多維的超高速和超精密運動。目前在半導體裝備、激光打標、PCB加工、機床等行業已經得到廣泛應用。其精度和分辨率均在微米級。目前主要應用如下。