采用金屬波紋管作為執行元件，金屬波紋管安裝在載物臺上，將輸入壓力變為位移的線性輸出；載物臺安裝在氣浮導軌上，氣浮導軌通過外部輸入的壓力氣體在氣浮導軌定子和動子之間形成一層氣膜，從而形成了一個潤滑層，使得氣浮導軌動子可以無摩擦運行，從而使氣動伺服執行器獲得較高的運動精度和定位精度。