【技術(shù)簡介】我國對于超純度電子氣體的研究前后經(jīng)歷了20多年的努力，開發(fā)出了一批特種氣體，可以基本滿足中小規(guī)模集成電路用的氣體，但對于超大(VLSI)和特大(ULSI)規(guī)模集成電路的用氣仍然存在技術(shù)空白，尤其是純度超過6N的氣體全部依靠進(jìn)口來解決。

　　本項目的實施，將從根本上改變當(dāng)前我國高純電子氣體嚴(yán)重受制于國外的現(xiàn)狀，增強產(chǎn)品在國際市場上的競爭力。同時，項目718所積極致力于探索出一條高純電子氣體供應(yīng)商與半導(dǎo)體制造企業(yè)之間的全新的合作模式，讓半導(dǎo)體企業(yè)在安全共贏的前提下去支持和幫助國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高純電子氣體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，從而使我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)健康有序地發(fā)展。項目研發(fā)涉及的高純電子氣體雖然各不相同，但在合成工藝和純化工藝上有許多關(guān)鍵共性技術(shù)，在本項目實施過程中，718所將著力進(jìn)行共性技術(shù)的研發(fā)和突破，計劃研發(fā)的關(guān)鍵共性技術(shù)主要有：制備高純電子氣體的大功率電解技術(shù)，高純電子氣體的深度純化技術(shù)，高純電子氣體的凈化技術(shù)的研究以及高純電子氣體分析檢測技術(shù)。

　　 通過對10種特種電子氣體的研發(fā)與試生產(chǎn)，完成應(yīng)用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等工藝，使我國的民族電子信息產(chǎn)業(yè)取得蓬勃發(fā)展。

　　【技術(shù)特點】電子氣體作為一種非常重要的半導(dǎo)體材料，而其中雜質(zhì)含量的高低不僅反映了生產(chǎn)過程的操作水平，而且對下游生產(chǎn)過程的工藝操作、設(shè)備運行乃至產(chǎn)品質(zhì)量都將產(chǎn)生重要的影響和制約作用。隨著電子技術(shù)向高性能、多功能、大容量、微型化和批量化方向的發(fā)展,對高純氣體提出了更高的技術(shù)要求 ,更重要的是對潔凈度提出了苛刻的要求。本項目解決的關(guān)鍵技術(shù)為：

　　（1）純化技術(shù)。在產(chǎn)品分離過程中，我們根據(jù)原料中含有雜質(zhì)的種類、濃度對吸附劑作物理和化學(xué)處理，成功地將干性吸附劑運用在提純工藝中，提高吸附劑的吸附選擇性，具有吸附和催化兩種功能。這在國內(nèi)民用領(lǐng)域應(yīng)尚無先例。
　　（2）凈化技術(shù)；
　　（3）高精度分析檢測技術(shù)。對金屬雜質(zhì)的分析，主要是建立氣相超凈吸收方法，保證樣品處理無污染，準(zhǔn)確度高，通過電感耦合等離子質(zhì)譜對樣品直接測定，檢測方法精確、可靠。
　　（4）氣體潔凈充裝技術(shù)；
　　（5）高純混合氣體配制系統(tǒng)研發(fā)。目前國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)使用的高純混合氣體多數(shù)是進(jìn)口，本項目在實施過程中，計劃開發(fā)出純度高、穩(wěn)定性好的混合配氣系統(tǒng)和裝置，生產(chǎn)出適合用戶要求的混合氣產(chǎn)品，逐步替代進(jìn)口產(chǎn)品。

　　【技術(shù)指標(biāo)】六氟乙烷純度達(dá)到99.9993%，產(chǎn)能達(dá)到50噸/年；八氟丙烷純度達(dá)到99.9995%，產(chǎn)能達(dá)到30噸/年；八氟環(huán)丁烷純度達(dá)到99.9993%，產(chǎn)能達(dá)到50噸/年；四氟化硅純度達(dá)到99.999%，產(chǎn)能達(dá)到50噸/年；氟化氫純度達(dá)到99.999%，產(chǎn)能達(dá)到30噸/年；氯化氫純度達(dá)到99.999%，產(chǎn)能達(dá)到50噸/年；六氟化鎢純度達(dá)到99.999%，產(chǎn)能達(dá)到150噸/年；碳酰氟純度達(dá)到99.9%，產(chǎn)能達(dá)到30噸/年；三氟化氯純度達(dá)到99.9%，產(chǎn)能達(dá)到50噸/年；高純電子混合器產(chǎn)能達(dá)到10000瓶/年。

　　【技術(shù)水平】國內(nèi)領(lǐng)先

　　【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】本技術(shù)主要應(yīng)用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等關(guān)鍵工藝。

　　【專利狀態(tài)】已申請專利2項

　　【技術(shù)狀態(tài)】小批量生產(chǎn)、工程應(yīng)用階段

　　【合作方式】融資需求

　　【投入需求】面議

　　【轉(zhuǎn)化周期】2年

　　【預(yù)期效益】本項目完成后，我單位將成為我國最大的高純電子特種氣體研發(fā)與生產(chǎn)基地，年產(chǎn)各種高純電子氣體2000余噸，新增5億元左右的年銷售收入，使我國高純電子氣體的生產(chǎn)能力進(jìn)入世界前列，同時帶動集成電路、化工、機械、液晶面板制造、太陽能等上下游企業(yè)的發(fā)展，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供助力。

　　【聯(lián)系方式】董  強0310-7189618/13082113282