【技術(shù)開發(fā)單位】兵器工業(yè)集團(tuán)公司北方夜視科技集團(tuán)有限公司

　　【技術(shù)簡(jiǎn)介】利用微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)研制氧化釩非制冷紅外探測(cè)器。公司重點(diǎn)拓展的領(lǐng)域是高端數(shù)模混合集成電路開發(fā)和MEMS（微機(jī)電）傳感器和驅(qū)動(dòng)器。公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)的主要人員均有海外學(xué)習(xí)和工作經(jīng)歷，人員背景包括集成電路設(shè)計(jì)，MEMS傳感器設(shè)計(jì)，半導(dǎo)體工藝開發(fā)與集成，材料科學(xué)，電子封裝，系統(tǒng)集成，圖像處理等。

　　【技術(shù)特點(diǎn)】微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是一種微細(xì)加工技術(shù)，它可將信息獲取、處理和執(zhí)行等功能集成，具有微小、智能、可執(zhí)行、可集成、工藝兼容性好、成本低等優(yōu)點(diǎn)。將MEMS用于非制冷紅外探測(cè)器的研制能夠使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度陣列集成和低成本、高精度、可批量生產(chǎn)等方向發(fā)展。

　　【技術(shù)水平】 主要技術(shù)指標(biāo)：
　　速度：25～100 Hz
　　熱響應(yīng)時(shí)間：3～10 ms
　　響應(yīng)率：5～25 mV/K
　　NETD：小于等于40 mK
　　空間噪聲：＜0.5 NETD
　　像元中心間距：20～45 um
　　陣列：160×120，384×288，640×512
　　盲元率：＜0.1%
　　動(dòng)態(tài)范圍：＞70 dB

　　【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】我公司生產(chǎn)的非制冷紅外探測(cè)器系列產(chǎn)品, 適用于消防、電力、建筑、安防等民用領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)夜視觀測(cè)、制導(dǎo)、車載探測(cè)和溫度測(cè)量等功能。

　　【技術(shù)狀態(tài)】 批量生產(chǎn)階段

　　【投入需求】建立一條6英寸探測(cè)器圓片生產(chǎn)線，投入約為8000萬(wàn)元人民幣。主要投入的設(shè)備有光刻機(jī)，顯影機(jī)，金屬刻蝕機(jī)，非金屬刻蝕機(jī)，清洗機(jī)，甩干機(jī)，濺射機(jī)，CVD，涂膠機(jī)，固膠機(jī)，退火爐，和各種量測(cè)設(shè)備，如CDSEM，探針臺(tái)，臺(tái)階儀，應(yīng)力儀，膜厚儀，4探針檢測(cè)儀，缺陷檢測(cè)儀等。

　　【預(yù)期效益】產(chǎn)能為年產(chǎn)5萬(wàn)只各類探測(cè)器，根據(jù)目前市場(chǎng)情況，售價(jià)為3000至5000元人民幣，銷售額在兩億元人民幣左右，毛利在50%左右。

　　【聯(lián)系方式】唐毅松  010-88829603  0871-5105610