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合作（1）
公共服務
資訊
知識
高純電子氣體研發與產業化
關鍵字：
高純
電子氣體
所屬行業：
電子信息
發布時間：
2015-01-29
價格：
所在地區：
河北 邯鄲
合作信息期限：
2016年3月
合作信息類型：
技術協作
機構類型：
企業
供求關系：
供應
合作信息簡介：
【技術簡介】我國對于超純度電子氣體的研究前后經歷了20多年的努力，開發出了一批特種氣體，可以基本滿足中小規模集成電路用的氣體，但對于超大(VLSI)和特大(ULSI)規模集成電路的用氣仍然存在技術空白，尤其是純度超過6N的氣體全部依靠進口來解決。 本項目的實施，將從根本上改變當前我國高純..
發布機構：
中國船舶重工集團公司第七一八研究所
共
1
頁 總數：
2
條
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