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合作（1）
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知识
高纯电子气体研发与产业化
关键字：
高纯
电子气体
所属行业：
电子信息
发布时间：
2015-01-29
价格：
所在地区：
河北 邯郸
合作信息期限：
2016年3月
合作信息类型：
技术协作
机构类型：
企业
供求关系：
供应
合作信息简介：
【技术简介】我国对于超纯度电子气体的研究前后经历了20多年的努力，开发出了一批特种气体，可以基本满足中小规模集成电路用的气体，但对于超大(VLSI)和特大(ULSI)规模集成电路的用气仍然存在技术空白，尤其是纯度超过6N的气体全部依靠进口来解决。 本项目的实施，将从根本上改变当前我国高纯..
发布机构：
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
共
1
页 总数：
2
条
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