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用于高真空測量的電容式微型真空規
關鍵字：
電容式
微型
真空規
所屬行業：
機械
發布時間：
2015-08-06
價格：
所在地區：
福建 廈門
合作信息期限：
2016年10月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
高等院校
供求關系：
供應
合作信息簡介：
成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規 成果擁有單位：廈門大學 成果簡介： 以MEMS技術為基礎的硅微機械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產和單片集成等優點，滿足國際上真空計的發展要求。該真空規為一種以MEMS技術為基礎的電容式硅微真空傳感器，它主要..
發布機構：
廈門大學
共
1
頁 總數：
2
條
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