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系列羅茨干式真空泵機組
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業：
其他
合作信息期限：
2017-4
參考價格：
面議
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
該成果解決了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統設計等關鍵技術，具有完全自主知識產權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環境，技術水平達到..
系列渦旋干式真空泵
渦旋干式
真空泵
所屬行業：
其他
合作信息期限：
2017-4
參考價格：
面議
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設備，主要應用于集成電路、半導體、醫療、生物制藥、食品等領域，解決了真空儀器設備的油污染問題，成為了世界上發展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關系研..
系列大型平板太陽能電池PECVD覆膜系統
覆膜系統
所屬行業：
其他
合作信息期限：
2017-2
參考價格：
面議
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
該成果是制備太陽能光伏電池減反射膜的專用裝備，適用于晶硅光伏電池生產線。項目解決了大功率等離子體技術、硅片注氫技術、強冷卻技術、大型平板加熱均勻性控制技術、載板自動傳輸系統等關鍵技術問題，采用模塊化設計，整個生產工藝過程全自動操作，具有產能高、成膜效率高、性能穩定、操作簡單等特..
藍寶石晶體生長爐
藍寶石
晶體
生長爐
所屬行業：
其他
合作信息期限：
2017-5
參考價格：
面議
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
該成果主要用于藍寶石晶體材料制備。項目攻克了晶體生長區溫度控制技術、載氣流量和氣壓穩定性控制技術、提拉旋轉機構穩定性控制技術等三項關鍵技術難題，研制出了適用于生產線需求的系列藍寶石晶體生長爐及晶體材料生長工藝。成果具有節能降耗、操作方便、控制精度高，抗干擾能力強、晶體質量好，成..
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